Technology Application
技術(shù)應(yīng)用
Laser ablation technology
應(yīng)用原理 / Principle
激光消融技術(shù)是利用激光在硅片背面進(jìn)行打孔或開(kāi)槽，將部分AlOx與SiNx薄膜層打穿露出硅基體，背電場(chǎng)通過(guò)薄膜上的孔或槽與硅基體實(shí)現(xiàn)接觸。
Process Introduction
具有較高能量密度的激光束照射在被加工材料表面，材料表面吸收激光能量，溫度上升，產(chǎn)生熔融、燒蝕、蒸發(fā)，從而達(dá)到去除表層的目的。激光消融智能制造設(shè)備是PERC生產(chǎn)流程中不可或缺的關(guān)鍵性裝備，PERC太陽(yáng)能電池制造只需要增加激光消融智能制造設(shè)備及其它少量輔助設(shè)備即可完成生產(chǎn)線的升級(jí)和改造，兼容現(xiàn)有生產(chǎn)線，以相對(duì)較低的成本提升電池技術(shù)參數(shù)和生產(chǎn)效率。
